校正的基本步驟：
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的Royco HH200作校正
1、先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測(cè)試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開(kāi)Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
（1）取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00
（2）取樣次數(shù)都設(shè)置03
（3）取樣模式都設(shè)置為Auto
（4）間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05
（5）讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測(cè)試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。
6、打開(kāi)255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以?xún)?nèi)，視為合格。
8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
9、以上校正只是對(duì)比校正，尚用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。